Brand / ยี่ห้อ : Seiko Instruments

Model / รุ่น : SPI3800N / SPA400

ที่ตั้งเครื่อง : ห้อง Cleanroom อาคารวิจัยนาโนเทคโนโลยีสิรินธร

หลักการทำงาน : AFM ทำงานโดยการใช้หัวอ่านซึ่งเป็นเข็มขนาดเล็กประมาณ 10 nm เป็นตัววัดแรงดึงดูดหรือแรงผลักที่เกิดขึ้นระหว่างหัวเข็มกับพื้นผิวที่ต้องการวิเคราะห์เพื่อสร้างเป็นภาพ โดยเมื่อกดหัวอ่านลงบนผื้นผิวที่จะตรวจวัด จะเกิดแรงที่กระทำต่อก้าน (Cantilever) ของหัวอ่าน จะทำให้หัวอ่านเอียงด้วยมุมต่าง ๆ กันตามสภาพความสูงต่ำของพื้นผิวซึ่งจะสามารถตรวจวัดได้จากมุมสะท้อนของลำแสงเลเซอร์ที่ยิงลงไปยังก้านของหัวอ่าน จากนั้นคอมพิวเตอร์ก็จะแปลงสัญญาณออกมาเป็นภาพของพื้นผิวที่ต้องการตรวจสอบได้

พื้นที่มากที่สุดที่สแกนได้ : 15 μm x 15 μm

ประเภทของตัวอย่าง : ของแข็ง เช่น  ฟิล์ม แผ่นโลหะ CD DVD
   – ฐานรองรับตัวอย่างมีขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 2 cm
   – ตัวอย่างควรมีขนาดไม่เกิน 3.5 cm x 3.5 cm 

ผลการทดสอบที่จะได้รับ :
1. Raw File (.xqd) และ (.xqp)
2. รูปภาพ 2 มิติ (.png)
3. รูปภาพ 3 มิติ (.png)
4. ค่า Statistical Quantities  เช่น  Roughness (.txt)

เงื่อนไขที่ต้องแจ้งก่อนการทดสอบ :
1. ชื่อตัวอย่าง
2. ประเภทหรือสารตัวอย่าง
3. ลักษณะตัวอย่าง
   (พื้นผิวต้องค่อนข้างเรียบ  ตัวอย่างประเภทเส้นใยไม่สามารถทดสอบได้)
4. ตำแหน่งและจำนวนจุดที่ต้องการสแกน
    เวลาที่ใช้ในการสแกนประมาณ 15 – 30 นาที/จุด  (ขึ้นอยู่กับ Area)
5. Area ที่ต้องการ Scan (ต้องไม่เกิน 15 um x 15 um)
6. ผลข้อมูลที่ต้องการทราบ
    เช่น รูปภาพ 2 มิติ  3 มิติ  เส้นกราฟแสดงลักษณะของพื้นผิวบางบริเวณ ฯ

หมายเหตุ พื้นผิว (ด้านหลัง) ตัวอย่าง จะต้องทำการแปะเทปกาวอาจจะมีรอยเปื้อนหรือเกิดความเสียหายหลังทำการทดสอบเสร็จ